HIGH ACCURACY DIFFERENTIAL PRESSURE CAPACITIVE TRANSDUCER AND METHODS FOR MAKING SAME.

摘要

Transducteur capacitif de pression, dans lequel un diaphragme de detection (40) portant une electrode (56) flechit en reponse a une pression d'un fluide appliquee par rapport a un organe de reference (42) ayant une electrode opposee (64). Un film ou couche fine d'un materiau dielectrique (68) tel que du verre recouvre l'electrode de l'organe de reference et possede une concavite correspondant a la courbure de flexion du diaphragme de detection (40) a sa position limite. La couche dielectrique (68) possede une resistance elevee a la compression et ameliore sensiblement la linearite en produisant une capacitance sensiblement superieure a l'espace equivalent rempli de fluide. Le transducteur est retenu dans un assemblage de transducteur (30) sous une precharge de compression, l'assemblage (30) comprenant des dispositifs de soulagement des contraintes thermiques. Des procedes de fabrication du transducteur (30) sont egalement decrits et comprennent des techniques de depot d'ecran a film epais pour former des concavites ayant des contours preselectionnes dans la couche dielectrique (68).