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发明名称 MULTICOMPONENT ALLOY FOR CATHODE SPUTTERING DEVICE TARGET
摘要
申请公布号 JPS5881940(A) 申请公布日期 1983.05.17
申请号 JP19820186901 申请日期 1982.10.26
申请人 RAIBORUTO HEREUSU GMBH;DEMETORON G FUYUURU EREKUTORONIIKU BUERUKUSHIYUTOTSUFUE MBH 发明人 BUORUFUUDEIITAA MIYUNTSU;IERUKU GEEBERU;GEE AA HORUSUTO JIIBUERUTO;HORUSUTO DEIITORITSUHI
分类号 C22C5/02;C23C14/14;C23C14/34 主分类号 C22C5/02
代理机构 代理人
主权项
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