发明名称 ZERSTAEUBUNGSKATHODE UND VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN GROSSFLAECHIGER SUBSTRATE DURCH KATHODENZERSTAEUBUNG.
摘要
申请公布号 AT3228(T) 申请公布日期 1983.05.15
申请号 AT19790870031T 申请日期 1979.12.19
申请人 ADVANCED COATING TECHNOLOGY, INC. 发明人 CHAMBERS, DOUGLAS L.;WAN, B. CHONG TAK
分类号 H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;C23C15/00 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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