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发明名称 GAS FLOW CONTROL SYSTEM
摘要
申请公布号 GB2108285(A) 申请公布日期 1983.05.11
申请号 GB19820026256 申请日期 1982.09.15
申请人 * THERMCO PRODUCTS CORPORATION 发明人 JON C * GOLDMAN;ROBERT E * RAPPARPORT
分类号 B01J3/04;B01J4/00;C23C16/52;F27D7/02;F27D19/00;G05D7/06;H01L21/31;(IPC1-7):G05D7/06 主分类号 B01J3/04
代理机构 代理人
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