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发明名称 MEHRSTOFFLEGIERUNG FUER TARGETS VON KATODENZERSTAEUBUNGSANLAGEN
摘要
申请公布号 DE3142541(A1) 申请公布日期 1983.05.11
申请号 DE19813142541 申请日期 1981.10.27
申请人 LEYBOLD-HERAEUS GMBH;DEMETRON GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-WERKSTOFFE MBH 发明人 HORST,DR.-ING. SIEWERT,G.A.;DIETRICH,HORST;MUENZ,WOLF-DIETER,DR.-PHYS.;GOEBEL,JOERG,DIPL.-CHEM.
分类号 C22C5/02;C23C14/14;C23C14/34;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C22C5/02
代理机构 代理人
主权项
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