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经营范围
发明名称
PRINTING OF MICRO-CIRCUIT WAFERS
摘要
申请公布号
GB2045523(B)
申请公布日期
1983.05.05
申请号
GB19800007900
申请日期
1980.03.07
申请人
PERKIN ELMER CORP
发明人
分类号
H01L21/30;G03F9/00;G03F9/02;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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