发明名称 |
ELEKTROCHEMISCHES ENTWICKLUNGSVERFAHREN FUER REPRODUKTIONSSCHICHTEN |
摘要 |
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申请公布号 |
DE3134054(A1) |
申请公布日期 |
1983.05.05 |
申请号 |
DE19813134054 |
申请日期 |
1981.08.28 |
申请人 |
HOECHST AG |
发明人 |
PLIEFKE,ENGELBERT,DIPL.-CHEM.DR. |
分类号 |
G03F7/00;G03F7/30;(IPC1-7):G03C5/24;G03G13/10 |
主分类号 |
G03F7/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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