发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING LSI AND MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5873100(A) 申请公布日期 1983.05.02
申请号 JP19820177474 申请日期 1982.10.08
申请人 TELEDYNE INC 发明人 JIYOOJI UIRIAMU KONAA
分类号 G11C29/00;G01R31/319;G06F11/22;G06F12/16;G11C29/56 主分类号 G11C29/00
代理机构 代理人
主权项
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