| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5873136(A) |
申请公布日期 |
1983.05.02 |
| 申请号 |
JP19820177460 |
申请日期 |
1982.10.08 |
| 申请人 |
SIEMENS SCHUCKERTWERKE AG |
发明人 |
HERUMAN KINTSUERU |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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