| 发明名称 |
ELECTRON BEAM-CARVING METHOD AND ITS DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5872450(A) |
申请公布日期 |
1983.04.30 |
| 申请号 |
JP19820176440 |
申请日期 |
1982.10.08 |
| 申请人 |
DR ING RUDOLF HELL GMBH |
发明人 |
JIIKUFURIITO BAISUBUENGAA |
| 分类号 |
B41C1/04;B23K15/00;B41C1/05;H01J37/00;H01J37/302;H01J37/305 |
主分类号 |
B41C1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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