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发明名称 SPUTTER ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5871376(A) 申请公布日期 1983.04.28
申请号 JP19810167221 申请日期 1981.10.21
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 KOBAYASHI TOSHIHIRO
分类号 C23F1/40;C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F1/40
代理机构 代理人
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