发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5871655(A) 申请公布日期 1983.04.28
申请号 JP19810169901 申请日期 1981.10.23
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 KOMATSU SHIGERU;FUJITA KATSUJI
分类号 H01L21/66;H01L21/331;H01L29/10;H01L29/423;H01L29/72;H01L29/73 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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