| 发明名称 |
VARIABLE FORMING BEAM ELECTRON OPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5871545(A) |
申请公布日期 |
1983.04.28 |
| 申请号 |
JP19820169433 |
申请日期 |
1982.09.28 |
| 申请人 |
SIEMENS SCHUCKERTWERKE AG |
发明人 |
BURUKUHARUTO RISHIYUKE;YURUGEN FUROOJIEN;KUURASU ANGAA;EERITSUHI PURIISU |
| 分类号 |
H01J37/28;H01J37/063;H01J37/09;H01J37/141;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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