发明名称 VERFAHREN ZUM ABLOESEN EINZELNER HALBLEITERCHIPS VON HALBLEITERTRAEGERN
摘要
申请公布号 DD160089(A1) 申请公布日期 1983.04.27
申请号 DD19810231319 申请日期 1981.06.30
申请人 OSTERLAND,KLAUS,DD;REGEHLY,KURT,DD 发明人 OSTERLAND,KLAUS,DD;REGEHLY,KURT,DD
分类号 H01L21/58;(IPC1-7):H01L21/58 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
主权项
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