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发明名称
VERFAHREN ZUM ABLOESEN EINZELNER HALBLEITERCHIPS VON HALBLEITERTRAEGERN
摘要
申请公布号
DD160089(A1)
申请公布日期
1983.04.27
申请号
DD19810231319
申请日期
1981.06.30
申请人
OSTERLAND,KLAUS,DD;REGEHLY,KURT,DD
发明人
OSTERLAND,KLAUS,DD;REGEHLY,KURT,DD
分类号
H01L21/58;(IPC1-7):H01L21/58
主分类号
H01L21/58
代理机构
代理人
主权项
地址
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