发明名称 Apparatus to measure the ionic current produced by an ion beam.
摘要 <p>L'invention concerne un dispositif de mesure d'un courant ionique. Ce dispositif comprend une chambre à vide (1), un diaphragme (3) d'entrée d'un faisceau d'ions dans la chambre, des moyens (2) de collection des ions provenant du diaphragme, ces moyens de collection étant situés dans la chambre, à l'opposé du diaphragme, et des moyens de mesure (5) d'une tension périodique entre les moyens de collection (2) et la masse de référence. Il est caractérisé en ce qu'il comprend en outre des moyens (9) situés entre le diaphragme (3) et les moyens de collection (2), pour provoquer une modulation périodique de l'intensité du courant ionique circulant entre les moyens de collection (2) et une masse de référence (M), les moyens de mesure étant des moyens de mesure d'un courant ou d'une fréquence. Application à la mesure de courants ioniques, notamment en spectrométrie de masse.</p>
申请公布号 EP0077739(A1) 申请公布日期 1983.04.27
申请号 EP19820401921 申请日期 1982.10.19
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL 发明人 BOYER, ROBERT LA COUDOUNIERE;DUVAL, CLAUDE
分类号 H01J49/02;G01N27/62;G01T1/29;H01J49/10;(IPC1-7):01T1/29 主分类号 H01J49/02
代理机构 代理人
主权项
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