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发明名称 VACUUM EVAPORATION USING A MODULATED ELECTRON BEAM AND X-RAY OPAQUE SCREEN
摘要
申请公布号 GB2049739(B) 申请公布日期 1983.04.27
申请号 GB19800014062 申请日期 1980.04.29
申请人 BOIS D 发明人
分类号 C23C14/30;H01J37/305;(IPC1-7):C23C13/00;C23C13/08 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
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