| 发明名称 |
APPARATUS FOR FUSING THIN LAYER IN REACTION VAPOR PHASE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5870833(A) |
申请公布日期 |
1983.04.27 |
| 申请号 |
JP19820171106 |
申请日期 |
1982.10.01 |
| 申请人 |
RUI ENAFU;MISHIERU MORERU;JIYAN RUTSUKU FUABANNETSUKU |
发明人 |
RUI ENAFU;MISHIERU MORERU;JIYAN RUTSUKU FUABANNETSUKU |
| 分类号 |
B01J19/08;C23C16/50;C23C16/505;C30B23/00;C30B25/02;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/205 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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