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发明名称 ELECTRON BEAM IRRADIATION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0021655(B1) 申请公布日期 1983.04.27
申请号 EP19800301869 申请日期 1980.06.04
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 IIJIMA, NOBUO
分类号 G01Q30/02;H01J37/04;G01Q30/16;G01Q30/18;H01J37/09;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):01J37/09;01J37/26;01J37/30 主分类号 G01Q30/02
代理机构 代理人
主权项
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