发明名称 FURNACE
摘要
申请公布号 GB8307588(D0) 申请公布日期 1983.04.27
申请号 GB19830007588 申请日期 1983.03.18
申请人 PHILIPS ELECTRONIC & ASSOCIATED INDUSTRIES LTD 发明人
分类号 H01L21/26;C30B25/10;H01L21/265;H05B3/00;(IPC1-7):H05B3/00 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
地址