| 发明名称 |
GAS FLOW CONTROL SYSTEM FOR LOW TEMPERATURE OXIDE MEMBRANE CHEMICAL EVAPORATION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5867856(A) |
申请公布日期 |
1983.04.22 |
| 申请号 |
JP19820160736 |
申请日期 |
1982.09.14 |
| 申请人 |
SAAMUKO PURODAKUTSU CORP |
发明人 |
JIYON SHII GOORUDOMAN;ROBAATO II RAPAPOOTO |
| 分类号 |
B01J3/04;B01J4/00;C23C16/52;F27D7/02;F27D19/00;G05D7/06;H01L21/31 |
主分类号 |
B01J3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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