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发明名称 EINRICHTUNG ZUM AUFBRINGEN DUENNER SCHICHTEN AUS AUF EIN PLASMA REAGIERENDER DAMPFPHASE
摘要
申请公布号 DE3235868(A1) 申请公布日期 1983.04.21
申请号 DE19823235868 申请日期 1982.09.28
申请人 HENAFF,LOUIS;MOREL,MICHEL;FAVENNEC,JEAN LUC 发明人 HENAFF,LOUIS;MOREL,MICHEL;LUC FAVENNEC,JEAN
分类号 B01J19/08;C23C16/50;C23C16/505;C30B23/00;C30B25/02;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/205;(IPC1-7):C23C11/00 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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