发明名称 DEFECT INSPECTION SYSTEM
摘要
申请公布号 GB2046433(B) 申请公布日期 1983.04.20
申请号 GB19800005765 申请日期 1980.02.20
申请人 MAJIME INDUSTRIES LTD 发明人
分类号 G01B11/24;G01N21/956;G03F1/00;G06T1/00;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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