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发明名称 PLASMA PRESSURE PULSE STERILIZATION.
摘要
申请公布号 EP0066574(A4) 申请公布日期 1983.04.18
申请号 EP19810903199 申请日期 1981.11.19
申请人 TEGAL CORPORATION 发明人 BITHELL, ROGER M.
分类号 A61L2/14;A61L2/24;(IPC1-7):A61L2/14;B01J19/08 主分类号 A61L2/14
代理机构 代理人
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