发明名称
摘要
申请公布号 JPS5856079(U) 申请公布日期 1983.04.15
申请号 JP19810146837U 申请日期 1981.10.02
申请人 发明人
分类号 C30B15/26;C30B15/22;H01L21/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/22 主分类号 C30B15/26
代理机构 代理人
主权项
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