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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR CONVERTING SEMICONDUCTOR WAFER INTO RESPECTIVE CHIP ARRAY
摘要
申请公布号 JPS5863145(A) 申请公布日期 1983.04.14
申请号 JP19810149285 申请日期 1981.09.21
申请人 PURESUKO INC 发明人 AREKUSANDAA GOTSUTOMAN
分类号 H01L21/67;H01L21/301;H01L21/68;H01L21/78 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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