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发明名称
VERBESSERTES GEGENFELD-SPEKTROMETER FUER DIE ELEKTRONENSTRAHL-MESSTECHNIK
摘要
申请公布号
DE3138901(A1)
申请公布日期
1983.04.14
申请号
DE19813138901
申请日期
1981.09.30
申请人
SIEMENS AG
发明人
PLIES,ERICH,DR.RER.NAT.
分类号
G01R31/26;G01Q30/02;G01R31/302;G01R31/305;H01J37/05;H01J37/252;H01J49/44;H01L21/66;(IPC1-7):H01J49/46
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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