发明名称 VERBESSERTES GEGENFELD-SPEKTROMETER FUER DIE ELEKTRONENSTRAHL-MESSTECHNIK
摘要
申请公布号 DE3138901(A1) 申请公布日期 1983.04.14
申请号 DE19813138901 申请日期 1981.09.30
申请人 SIEMENS AG 发明人 PLIES,ERICH,DR.RER.NAT.
分类号 G01R31/26;G01Q30/02;G01R31/302;G01R31/305;H01J37/05;H01J37/252;H01J49/44;H01L21/66;(IPC1-7):H01J49/46 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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