| 发明名称 |
VERBESSERTES SEKUNDAERELEKTRONEN-SPEKTROMETER FUER DIE POTENTIALMESSUNG AN EINER PROBE MIT EINER ELEKTRONENSONDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3138929(A1) |
申请公布日期 |
1983.04.14 |
| 申请号 |
DE19813138929 |
申请日期 |
1981.09.30 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
FEUERBAUM,HANS-PETER,DIPL.-PHYS. |
| 分类号 |
G01R31/26;G01Q30/02;G01R31/302;H01J37/252;H01J49/08;H01J49/44;H01L21/66;(IPC1-7):H01J49/44 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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