| 发明名称 |
DRY ETCHING OF AMORPHOUS HYDROGENATED SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5860611(A) |
申请公布日期 |
1983.04.11 |
| 申请号 |
JP19810159181 |
申请日期 |
1981.10.06 |
| 申请人 |
CANON KK |
发明人 |
SUGATA MASAO;OSADA YOSHIYUKI;HATANAKA KATSUNORI;OOKUBO YUKITOSHI;NAKAGIRI TAKASHI;KITAHARA NOBUKO |
| 分类号 |
C01B33/04;H01L21/302;H01L21/3065;H01L31/00;H01L31/0248 |
主分类号 |
C01B33/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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