| 发明名称 |
RF SPUTTERING METHOD AND SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3528906(A) |
申请公布日期 |
1970.09.15 |
| 申请号 |
USD3528906 |
申请日期 |
1967.06.05 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
JOHN H. CASH JR.;JAMES A. CUNNINGHAM |
| 分类号 |
C23C14/28;H01J37/34;H01L21/00;H01L23/29;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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