发明名称 SYSTEME D'EXPLOITATION D'INFORMATIONS DE MOTIF POUR UN SYSTEME D'EXPOSITION A FAISCEAU D'ELECTRONS
摘要 <P>SYSTEME D'EXPLOITATION D'INFORMATIONS DE MOTIF POUR UN SYSTEME D'EXPOSITION A FAISCEAU D'ELECTRONS DANS LEQUEL LA CONVERSION DES INFORMATIONS DE FIGURE EST EFFECTUEE EN MEME TEMPS QUE L'IRRIDIATION DE LA PIECE, ASSURANT AINSI UN FONCTIONNEMENT A VITESSE ELEVEE. LES INFORMATIONS DE FIGURE, COMPORTANT LES DESCRIPTIONS DE FIGURE POUR UNE ZONE EN FORME DE RAIE, SONT SUBDIVISEES EN BLOCS D'INFORMATIONS DE FIGURE DE SEGMENT ET SONT STOCKEES DANS UNE MEMOIRE 52 D'INFORMATIONS DE MOTIF. UN ENSEMBLE DE GENERATEURS DE MOTIF 54, 55, 56, 57, 58 COMPORTANT CHACUN UNE MEMOIRE DE GROUPE DE BITS, CONVERTIT SIMULTANEMENT LES BLOCS D'INFORMATIONS DE FIGUREDE SEGMENT EN GROUPES DE BITS ET STOCKE LES GROUPES DE BITS DANS LEURS MEMOIRES RESPECTIVES DE GROUPES DE BITS. CES GROUPES DE BITS SONT TRANSFERES, DES MEMOIRES DE GROUPE DE BITS, DANS UN REGISTRE A DECALAGE 60, UN A LA FOIS, POUR DELIVRER EN CONTINU LES INFORMATIONS DE SUPRESSION DE FAISCEAU. CE SYSTEME EST PARTICULIEREMENT AVANTAGEUX POUR L'EXPOSITION AU FAISCEAU D'ELECTRONS DE RETICULES, CARACTERISES PAR UNE REPETITION DES CARACTERISTIQUES FAIBLE VOIRE NULLE ET PAR DES DETAILS DE RELATIVEMENT GRANDES DIMENSIONS.</P>
申请公布号 FR2514199(A1) 申请公布日期 1983.04.08
申请号 FR19820016688 申请日期 1982.10.05
申请人 VARIAN ASSOCIATES 发明人 DONALD W. BERRIAN ET BILLY W. WARD;WARD BILLY W
分类号 H01L21/30;H01J37/302;(IPC1-7):H01J37/30;G03F7/26;H01L21/32;H01L21/70 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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