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发明名称
摘要
申请公布号 FR2490009(B1) 申请公布日期 1983.04.08
申请号 FR19800019503 申请日期 1980.09.10
申请人 AIR LIQUIDE 发明人
分类号 H01J9/24;C01B33/12;C01B33/16;C03C17/245;C23C16/40;H01J61/35;H01K1/32;H01K3/00;(IPC1-7):H01K3/00 主分类号 H01J9/24
代理机构 代理人
主权项
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