发明名称 STRAHLUNGSEMPFINDLICHE BESCHICHTUNGSMASSE
摘要
申请公布号 DE3235108(A1) 申请公布日期 1983.04.07
申请号 DE19823235108 申请日期 1982.09.22
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 SHIRAISHI,HIROSHI
分类号 G21K4/00;G03C1/00;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/68;C09D5/00;G03C1/49;G03C1/72;G03F7/26;H01L21/31 主分类号 G21K4/00
代理机构 代理人
主权项
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