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发明名称 HYBRID MOVABLE STAGE USING APPROXIMATE CORRECTING CIRCUIT AND RASTER ELECTRONIC BEAM LITHOGRAPHIC DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5858735(A) 申请公布日期 1983.04.07
申请号 JP19820155313 申请日期 1982.09.08
申请人 VARIAN ASSOC 发明人 BIRII DABURIYUU UOODO;UIRIAMU DEE UERUZU
分类号 H01L21/027;H01J37/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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