Spectrometer for detecting secondary electrons produced by an electron probe from a target.

摘要

Bei einem Sekundärelektronen-Spektrometer für die Potentialmessung an einer Probe mit einer Elektronensonde soll die Meßgenauigkeit verbessert werden. Erfindungsgemäß wird ein Sekundärelektronen-Spektrometer mit einer Vorrichtung (G3) zur Messung der Energieverteilung der Sekundärelektronen (SE) unabhängig von der Winkelverteilung dieser Sekundärelektronen (SE) am Meßpunkt auf der Probe (PR) versehen. Weist ein Sekundärelektronen-Spektrometer eine Absaugelektrode (G1) und eine Bremselektrode (G2) auf, so ist die Vorrichtung (G3) kugelsymmetrisch ausgestaltet. Die Erfindung eignet sich insbesondere für die quantitative Potentialmessung an integrierten Schaltungen mit einer Elektronensonde.