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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5858284(A) 申请公布日期 1983.04.06
申请号 JP19810156411 申请日期 1981.09.30
申请人 SHIMAZU SEISAKUSHO KK 发明人 KOYAMA TOMITAROU
分类号 C23F1/08 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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