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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM PLASMABESCHICHTEN
摘要
申请公布号 DD159785(A1) 申请公布日期 1983.04.06
申请号 DD19810230882 申请日期 1981.06.17
申请人 FROEHLICH,HANS,DD;KRETZSCHMAR,EBERHARD,DD;NEUPERT,THOMAS,DD;JAHN,RALF-DIETER,DD 发明人 FROEHLICH,HANS,DD;KRETZSCHMAR,EBERHARD,DD;NEUPERT,THOMAS,DD;JAHN,RALF-DIETER,DD
分类号 (IPC1-7):C23C7/00 主分类号 (IPC1-7):C23C7/00
代理机构 代理人
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