| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING AND CONTROLLING THICKNESS OF LAYER OPTICALLY FUNCTIONING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5855706(A) |
申请公布日期 |
1983.04.02 |
| 申请号 |
JP19820155296 |
申请日期 |
1982.09.08 |
| 申请人 |
RAIBORUTO HEREUSU GMBH |
发明人 |
HORUSUTO SHIYUBUIIKAA;ARUFUONSU TSUERAA |
| 分类号 |
G01B21/08;G01B11/06;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B21/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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