发明名称 PROCEDE DE RECUIT SUPERFICIEL PAR ENERGIE MICRO-ONDE PULSEE DE MATERIAUX SEMI-CONDUCTEURS
摘要 <P>RECUIT DE MATERIAUX SEMI-CONDUCTEURS.</P><P>LE PROCEDE DE RECUIT SUPERFICIEL DE MATERIAU SEMI-CONDUCTEUR EST CARACTERISE EN CE QU'ON PLACE UN ECHANTILLON DE MATERIAU SEMI-CONDUCTEUR DANS UNE CAVITE RESONNANTE, ON EMET UNE IMPULSION DE MICRO-ONDES A L'INTERIEUR DE LA CAVITE ET ON CONFERE A CETTE IMPULSION UNE DUREE ET UNE PUISSANCE SUFFISANTES POUR PROVOQUER UN RECUIT ETOU LA FUSION DE L'ECHANTILLON ET SA RECRISTALLISATION SUBSEQUENTE.</P><P>APPLICATION A LA CRISTALLISATION D'UNE COUCHE D'UN MATERIAU SEMI-CONDUCTEUR AMORPHE DEPOSE SUR UN SUBSTRAT.</P>
申请公布号 FR2513659(A1) 申请公布日期 1983.04.01
申请号 FR19810018656 申请日期 1981.09.29
申请人 CENTRE NAL RECHERC SCIENTIFIQUE 发明人 JOSEPH COHEN, GEORGES KAMARINOS ET PIERRE CHENEVIER;KAMARINOS GEORGES;CHENEVIER PIERRE
分类号 H01L21/20;H01L21/22;H01L21/324;(IPC1-7):C22F3/00;C22F1/16;H01L21/32;H05B6/64 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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