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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5816343(B2) 申请公布日期 1983.03.30
申请号 JP19760158060 申请日期 1976.12.31
申请人 CHO ERU ESU AI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 SHIBATA HIROSHI
分类号 H01L27/10;G11C11/34;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/78 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
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