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发明名称 ION SOURCE OVEN UTILIZING HIGH FREQUENCY HEATING
摘要
申请公布号 JPS5853181(A) 申请公布日期 1983.03.29
申请号 JP19810152491 申请日期 1981.09.25
申请人 NITSUSHIN HAIBORUTEEJI KK 发明人 ISHIDA TOSHIAKI
分类号 H05B6/12;H01J27/02;H05B7/00 主分类号 H05B6/12
代理机构 代理人
主权项
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