发明名称 ELECTRON BEAM TECHNIQUES IN INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 US3575733(A) 申请公布日期 1971.04.20
申请号 USD3575733 申请日期 1968.08.26
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC. 发明人 OLIN B. CECIL
分类号 H01L21/263;H01L21/762;H01L21/8222;(IPC1-7):H01L7/00 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
主权项
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