发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5852480(A) 申请公布日期 1983.03.28
申请号 JP19810149613 申请日期 1981.09.24
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 KAGEYAMA KATSUHIRO
分类号 C23C14/36;C23C14/35 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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