发明名称
摘要
申请公布号 JPS5814606(Y2) 申请公布日期 1983.03.23
申请号 JP19770002129U 申请日期 1977.01.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L23/48;H01L33/56;H01L33/62;(IPC1-7):H01L21/60;H01L33/00 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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