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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ELEKTRONEN-UND ROENTGENRESISTS
摘要
申请公布号
DD200174(A1)
申请公布日期
1983.03.23
申请号
DD19810231518
申请日期
1981.07.07
申请人
PFEIFFER,KARL,DD;RAPSCH,BRIGITTE,DD;LORKOWSKI,HANS-JOACHIM,DD
发明人
PFEIFFER,KARL,DD;RAPSCH,BRIGITTE,DD;LORKOWSKI,HANS-JOACHIM,DD
分类号
G03F7/26;(IPC1-7):G03F7/26
主分类号
G03F7/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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