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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5814753(B2)	申请公布日期	1983.03.22
申请号	JP19760004066	申请日期	1976.01.19
申请人	TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO	发明人	YOSHIDA OKIO;HAYASHIMOTO YOSHIAKI;NAGAE ISAO
分类号	H01J29/45;H01L31/08	主分类号	H01J29/45
代理机构		代理人
主权项
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