| 发明名称 |
DRY ETCHING SYSTEM WITH INERT PARTICLES COATED WITH ADSORBED ACID |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3595718(A) |
申请公布日期 |
1971.07.27 |
| 申请号 |
USD3595718 |
申请日期 |
1968.01.22 |
| 申请人 |
CELANESE CORP. |
发明人 |
DAVID H. FISHMAN;FRANK M. BERARDINELLI |
| 分类号 |
C08J7/12;C23F1/14;(IPC1-7):C23F1/00;B24C1/08;B41C1/00 |
主分类号 |
C08J7/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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