| 发明名称 |
FORMING METHOD FOR MULTILAYER WIRING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5846652(A) |
申请公布日期 |
1983.03.18 |
| 申请号 |
JP19810145320 |
申请日期 |
1981.09.14 |
| 申请人 |
FUJITSU KK |
发明人 |
UCHIYAMA YORIHIRO;SHINGUU MASATAKA;TSUKADA SABUROU |
| 分类号 |
H01L21/768;C09K13/00;H01L21/311;H01L21/312;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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