| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR AUSBILDUNG VON MASKENOEFFNUNGEN BEI DER HERSTELLUNG VON HALBLEITERANORDNUNGEN. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AT2467(T) |
申请公布日期 |
1983.03.15 |
| 申请号 |
AT19790103351T |
申请日期 |
1979.09.07 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
POGGE, HANS BERNHARD |
| 分类号 |
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
