发明名称 CONTROLLING THE PROPERTIES OF NATIVE FILMS USING SELECTIVE GROWTH CHEMISTRY.
摘要
申请公布号 EP0023911(A4) 申请公布日期 1983.03.15
申请号 EP19800900359 申请日期 1980.08.25
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人 CHANG, ROBERT PANG HENG
分类号 H01L29/78;H01L21/316;H01L21/324;H01L29/94;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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