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发明名称 반도체 장치의 제조법
摘要 <p>내용 없음.</p>
申请公布号 KR830000595(B1) 申请公布日期 1983.03.15
申请号 KR19790002599 申请日期 1979.07.31
申请人 null, null 发明人 윌리암 레이드 하스 바저;하이만 죠셉 레빈 스타인;씨릴 죠셉 모가브;로이 알리 포터
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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